斜齿光栅

斜齿光栅结构在全息AR波导领域中也有广泛的使用。全息AR领域使用的光栅特征尺度只有几十纳米,而倾斜结构的制成在半导体领域更属技术难点。

关键词:

微结构 | 光学元器件 | 生物检测 | 定制化服务

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