微结构

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微纳光栅作为光通信的关键器件,在光谱,全息投影,光学测量领域有着重要应用。我司可批量在光学玻璃、单晶硅、铌酸锂、碳化硅以及其它金属基底上加工纳米光栅。特征尺寸：直径≥20nm 周期≥40nm 最大深宽比10：1

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纳米孔应用领域：（1）光学（2）基因测序（3）蛋白结构和序列的表征（4）单分子化学（5）用于模拟生物系统的合成纳米孔（6）识别和量化生物标志物我司通过纳米压印工艺可以批量在光学玻璃、单晶硅、碳化硅以及其它金属基底上加工纳米孔结构。特征尺寸：直径≥20nm 周期≥40nm 最大深宽比10：1

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纳米柱主要应用领域：（1)高效太阳板,纳米柱底部参杂，可以使光停留时间延长，可捕获更多的光（2)高分辨细胞分析（3)抗细菌表面我司通过纳米压印工艺可以批量在不同材质基底上加工纳米柱结构。特征尺寸：直径≥20nm 周期≥40nm 最大深宽比10：1

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微透镜阵列可分为折射型微透镜阵列与衍射型微透镜阵列两类。衍射微透镜列阵利用其表面波长量级的三维浮雕结构对光波进行调制、变换，具有轻而薄、设计灵活等特点。作为功能元件，在波前传感、光聚能、光整形等多种系统可得到广泛应用。

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